射頻天線耦合細長管內表面離子注入表面改性方法

2007年

應用技術

成果簡介

射頻天線耦合細長管內表面離子注入表面改性方法，本發明涉及細長管的內表面離子注入表面改性方法。它克服了已有技術在管筒與射頻天線之間設置網狀金屬地電極的結構所帶來該技術不能應用于管筒直徑細情況的缺陷。它包括下述步驟：需要表面改性的管筒置于密閉容器內并把管筒接地，射頻天線的一端插入密閉容器內并且位于管筒內的中心線處；通過射頻天線向管筒內間歇性發射射頻電磁波，管筒內的氣體發生電離，從而在管筒內產生...

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射頻天線耦合細長管內表面離子注入表面改性方法

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