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滑塊往復式對靶濺射加熱傳動裝置

2004年

應用技術

成果簡介

一種滑塊往復式對靶濺射加熱傳動裝置，它包括有一個箱體，在箱體的底部設有樣品架往復移動口，在箱體的底部設有蝸桿，在該蝸桿上連接有滑塊，該滑塊的上端連接有進入箱體內的支撐桿，在該支撐桿的上端連接有樣品架，在箱體前后面內設有加熱陶瓷基體，在箱體前后對應面上設有方形濺射口。所述的樣品架為長方形結構，在長方形的樣品架上均勻開有至少兩個基片固定槽孔。在加熱陶瓷基體上設有蛇形加熱絲。在加熱陶瓷基體內側設...

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滑塊往復式對靶濺射加熱傳動裝置

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