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批量化制備雙面高溫超導薄膜裝置

2006年

應用技術

成果簡介

一種批量化制備雙面高溫超導薄膜裝置，其特點是：將多個基片均勻排布在圓盤形的樣品臺上，由主轉動軸帶動旋轉，在加熱真空腔體內旋轉加熱，對靶一次性濺射制備大面積雙面高溫超導薄膜。在加熱真空腔體上下兩面對稱開有濺射口，上下濺射靶對稱排布。真空室上下兩面還對稱放置金屬電極靶材。加熱腔體與輔轉動軸連接，可以旋轉濺射口的位置至金屬靶材濺射位置，從而實現原位鍍覆電極薄膜。主轉動軸由無極變速電極帶動，可控制...

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批量化制備雙面高溫超導薄膜裝置

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