修補光罩圖形的方法

2006年

應用技術

成果簡介

本發明公開了修補光罩圖形的方法，用軟件在光罩基板上找到與缺陷圖案共X軸或共Y軸且形狀和大小相同的無缺陷的原始參考圖案，通過修補視窗逐步向缺陷圖案方向拾取輸出參考圖案，這樣對缺陷圖案的定位較準確；并且將尋找與缺陷圖案形狀大小相同的無缺陷圖案范圍擴大，找到與缺陷圖案形狀大小相同的無缺陷的原始參考圖案的概率提高，對無缺陷的原始參考圖案進行復制作為參考圖案，然后再參照參考圖案對缺陷圖案進行修補，使...

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修補光罩圖形的方法

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