一種基于干法刻蝕負載效應的亞波長連續面形微結構制備方法

2007年

應用技術

成果簡介

　　一種基于干法刻蝕負載效應的亞波長連續面形微結構制備方法，（1）首先選擇基底材料，然后對干法刻蝕設備進行標定，建立縫寬與刻蝕速率的關系；（2）依據標定的結果，設計與目標結構相應的干法刻蝕掩模圖形，并在基底表面制作金屬材質的干法刻蝕掩模圖形；（3）采用標定過程中使用的刻蝕參數對基底進行干法刻蝕；（4）刻蝕結束后，對刻蝕后的基底材料進行濕法腐蝕拋光，拋光完成后即可獲得需要的目標結構。
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一種基于干法刻蝕負載效應的亞波長連續面形微結構制備方法

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