2007年 應用技術
自行研制開發的由硅烷流程制備納米非晶氮化硅粉末體系，本系統設備結構緊湊，操作簡便，投資省，轉化率高，單位產率高，收集率高，操作溫度低(<800℃)，氮化能耗低，原料單耗低。
納米非晶氮化硅粉體結構致密、表面光滑呈圓球形，粒度在50～100nm間，分散性良好，色白，晶相為非晶形，含氮40.39±0.06%，含氧1%以下(不考慮粉末與空氣接觸引起的表面氧化)，純度高，金屬雜質含量p... 
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