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    勻膠設備的勻膠單元的上蓋結構

    2006年 應用技術
    • 成果簡介
    本實用新型涉及半導體晶片加工過程中對晶片勻膠的技術,具體地說是一種勻膠設備的勻膠單元的上蓋結構。包括上浮盤,旋置在晶片上,中部設一轉軸;盤上安裝有上浮盤磁鐵;上蓋與氣缸相連,并通過軸承與上浮盤的轉軸樞接;旋轉電機輸出軸裝有一個吸盤,吸盤與其上方的晶片吸附配合;吸盤上安裝有吸盤磁鐵,與上浮盤上安裝的上浮盤磁鐵在同一半徑處,極性相對。采用本實用新型能滿足半導體晶片加工對膠膜厚度均勻性和光刻膠用...

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