2007年 應(yīng)用技術(shù)
本發(fā)明公開了一種投影式光刻機(jī)中硅片平臺高度控制系統(tǒng)及方法。一種投影式光刻機(jī)中硅片平臺高度控制系統(tǒng)，包括埋在投影式光刻機(jī)硅片平臺中和中央控制器相連接的高度控制驅(qū)動(dòng)器陣列，中央控制器通過信號傳輸系統(tǒng)和光刻機(jī)主控制系統(tǒng)相連接。投影式光刻機(jī)中硅片平臺高度控制方法，包括以下步驟：第一步，測量光刻機(jī)系統(tǒng)誤差；第二步，將系統(tǒng)誤差數(shù)據(jù)傳輸?shù)焦饪虣C(jī)主控制系統(tǒng)；第三步，算出高度控制驅(qū)動(dòng)器陣列的補(bǔ)償信號；第四步...
|
微信公眾號
服務(wù)熱線
微信公眾號
服務(wù)熱線
