測量光刻套刻精度的標尺及方法

2007年

應用技術

成果簡介

本發明公開了一種測量光刻套刻精度的標尺，該標尺由中心相互重合、四個邊相互平行的內外兩個正方形組成，其中在內的正方形邊長為10μm，在外的正方形邊長為20μm，還包括以上述正方形的中心為原點的橫向和縱向兩個坐標軸，該坐標軸上標有刻度。本發明測量光刻套刻精度的方法，包括以下步驟：第一步，將標尺貼在顯示器上；第二步，根據該標尺的位置調整套刻盒記號的位置，使兩者的在內的正方形或在外的正方形相互重合...

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