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    集成真空微電子觸覺傳感器陣列

    2002年 應用技術  初期階段
    • 成果簡介
    本項目來源于國家“863”智能機器人主題資助項目。本項目針對智能機器人和特種智能機器人的需求,研究利用先進的微電子技術、MEMS技術和仿效、依據真空電子管技術,實現將低偏壓場致發射陰極錐尖陣列、仿人肌膚陽極膜、絕緣層和真空微腔所構成的觸覺敏感元以高密度的方式與信號獲取處理電路集成在一體,以構成一種十分理想的耐高低溫、抗輻射、高精度、高靈敏、高分辨率、快響應、高密度、低電壓、低功率、體積很小...

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