新型氧化鋅半導體薄膜的制備科學及其光電性能控制方法研究

2007年

基礎理論

成果簡介

　　該項目是上海市科委重點基礎研究計劃，主要創新結果如下：
　　1、研制出脈沖激光沉積－超聲噴霧熱分解方法聯用制備薄膜的新裝置，可以實現兩種方法交替原位生長高質量薄膜。并得到了高質量的ZnO薄膜的最佳生長工藝。
　　2、研究了籽晶層晶體質量、表面形貌和厚度的控制方法，分析了籽晶層對超聲噴霧熱分解方法生長薄膜的誘導機制，成功制備出高度C軸取向的ZnO薄膜。
　　3...

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新型氧化鋅半導體薄膜的制備科學及其光電性能控制方法研究

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