反應熱CVD法多晶硅鍺太陽電池的研究

2007年

應用技術

初期階段

成果簡介

該項目開發了一種新型的CVD工藝——等離子輔助反應熱CVD法，國際上首次提出采用氟化鍺為氣體以期達到鍺含量與摻氟量的匹配的思想，解決了硅鍺材料中氫擇優與硅鍵合導致的隨鍺含量升高缺陷態增加的問題；系統研究了多晶硅鍺材料生長條件對材料電學特性和光學特性的影響；提出了降低材料缺陷態的工藝條件，有效提高了材料的光敏性；實現了對材料中鍺含量的調節，以及對材料帶隙的控制，大幅度提高了材料在長波長領域的...

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反應熱CVD法多晶硅鍺太陽電池的研究

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