2007年 應(yīng)用技術(shù)
針對(duì)微機(jī)械構(gòu)件的服役性能與制備工藝關(guān)系，利用體硅工藝研究制作了懸臂梁陣列，完善了加工工藝；并重點(diǎn)研究了利用光纖耦合機(jī)理來測量懸臂梁橫向固有振動(dòng)頻率的方法，較好地解決了“施加微小載荷”和“檢測微小位移”兩方面的問題；采用靜態(tài)壓入檢測的方法，設(shè)計(jì)了微結(jié)構(gòu)專用的微機(jī)械性能測試儀，能夠檢測微結(jié)構(gòu)材料硬度、彈性模量、硬化指數(shù)、斷裂韌性及疲勞極限等多項(xiàng)指標(biāo)；發(fā)明了研究微結(jié)構(gòu)沖擊載荷作用的微沖擊實(shí)驗(yàn)臺(tái)，研究...
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