2007年 應(yīng)用技術(shù)
目前單一鍍層的薄膜已經(jīng)不能滿足工業(yè)生產(chǎn)的需要，因此開發(fā)復(fù)合涂層工藝和適合工藝條件的專用設(shè)備非常重要，目前我校針對(duì)工業(yè)生產(chǎn)開發(fā)的復(fù)合鍍膜工藝包括二氧化硅、氮化鈦、碳化鈦、氮鋁化鈦、三氧化二鋁、非晶金剛石、氮化硼、氮化鉭、氧化鋅等，可以應(yīng)用于機(jī)械、航空航天、紡織、微電子、光學(xué)等多種領(lǐng)域。
由于采用離子源，因此具有可控性、一致性，可以進(jìn)行大規(guī)模生產(chǎn)，鍍膜機(jī)可以根據(jù)生產(chǎn)工藝的需要進(jìn)行專... 
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