微機械陀螺

2007年

應用技術

成果簡介

　　采用微細加工技術制作的小型化，低成本角速率傳感器。
　　性能指標：樣機偏置穩定性指標可達到0.36deg/s，非線性度小于0.65%。
　　特點：目前所研制的采用具有高深寬比的溶片工藝制作，具有較大的性能提升空間。所采用的表頭設計方案和加工技術相對成熟，通過生產將大幅降低單個陀螺的價格。
　　適用范圍：中低精度的陀螺在汽車防滑、防翻，玩具，攝像頭穩定等民用...

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