薄膜應變柵稱重傳感器

2007年

應用技術

成果簡介

　　成果綜述：用微電子工藝技術制作薄膜傳感器是傳感器發展的方向之一。本成果是用微電子工藝技術直接在導電的金屬彈性體上沉積氮化硅絕緣薄膜，然后在這絕緣襯底上沉積應變金屬膜，再用光刻技術得以應變電阻（應變柵），應變柵經過熱處理后再覆蓋一層氮化硅保護膜。在傳感器結構適合用微電子工藝制作的情況下，這種工藝技術與在彈性體上粘貼膠底應變片的傳統工藝相比，其優點是：非線性、滯后、蠕變、重復性等指標可得到改善。應...

相關成果

1. QYTX系列應變式稱重傳感器
2. 濺射型應變式合金薄膜壓力傳感器
3. 柱柵傳感器
4. 稱重傳感器
5. CYB-921型應變式合金薄膜壓力傳感器
6. 薄膜式電阻應變計
7. 時柵位移傳感器
8. 光纖光柵應變傳感器
9. 光纖應變傳感器系統
10. 光纖應變傳感器技術
12. LOAD STANDⅡ稱重傳感器
13. TYSC數字稱重傳感器
14. 光纖應變傳感測量系統（GYY-Ⅱ應變儀）（光纖應變傳感器）
15. 新型樁基檢測大應變工具式應變傳感器
16. CZL-YB-RT1-HT型5-100T電阻應變式耐高溫稱重傳感器
17. 數字化稱重傳感器
18. 石英諧振式力/稱重傳感器
19. 橋式不銹鋼稱重傳感器
20. 給煤機稱重傳感器的研制

精品福利一区二区三区免费视-精品福利一区二区三区免费视频-精品福利一区二区在线观看-精品高潮呻吟99AV无码-精品高潮呻吟AV久久无码-精品高精欧美囯产日韩一区

薄膜應變柵稱重傳感器

標簽云

猜您想要的成果

相關專家

相關機構


	選擇導出文檔的格式關閉 PDF PDF RTF(word文檔) TXT(純文本)


	提示信息關閉發送短信成功


	提示信息關閉發送短信失敗


	提示信息關閉發送郵件失敗


	提示信息關閉郵件發送成功