2007年 應(yīng)用技術(shù)
微機(jī)械加速度計(jì)是采用微細(xì)加工技術(shù)制作的微型化，低成本的線運(yùn)動(dòng)測量傳感器。
性能指標(biāo)：單個(gè)質(zhì)量塊可同時(shí)敏感三個(gè)方向的加速度。 特點(diǎn)：采用具有高深寬比的溶片工藝制作，相對目前采用較多的表面工藝方案，具有靈敏度高的優(yōu)點(diǎn)。更重要的是單質(zhì)量塊同時(shí)敏感三個(gè)方向加速度的設(shè)計(jì)降低了表頭的體積和重量。 適用范圍：汽車，地質(zhì)勘探，玩具等領(lǐng)域。 合作... 
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