用于陣列式集成電路光刻掃描裝置的線陣光源

2007年

應用技術

成果簡介

　　專利號：ZL01144580.7
　　陣列式集成電路光刻掃描裝置用的線陣光源屬于掃描光學頭技術領域，其特征在于它含有：在同一線陣長度內依次排列著的下列元件：n個出射光強均勻的半導體激光器，n個分別會聚該激光器出射光的會聚透鏡，n束分別接收上述透鏡出射光的每束共有m根光纖的光導纖維，m個由分別來自各個光纖束的n根光纖排列成直線的線陣光纖頭和每個線陣光纖頭對應的成像透鏡。M和n可以相...

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用于陣列式集成電路光刻掃描裝置的線陣光源

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