摻四價鉻硅酸鎂晶體的生長方法

2004年

應用技術

成熟應用階段

成果簡介

　　一種摻四價鉻硅酸鎂晶體的生長方法，采用射頻感應加熱提拉法。使用爐體上帶有氮氣進口閥、氧氣進口閥和氣體出口閥的中頻感應加熱提拉爐。在銥坩堝的外表面上噴涂銥粉和氧化鋯粉混和粉的保護層。在升溫、下種、縮頸、放肩的過程中，爐體內只充入氮氣，而且保持在流動狀態下。在開始等徑生長前，打開氧氣進口閥，按氧和氮兩種氣體的體積百分比混和氣體輸進爐體內，并保持在流動狀態下。在等徑生長完成后，關閉氧氣進口閥。在收尾...

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