垂直各向異性鐵基軟磁薄膜的制備方法

2007年

應用技術

成果簡介

　　一種垂直各向異性鐵基軟磁薄膜的制備方法屬磁性材料制備技術領域，用射頻磁控濺射方法在基片上制備鐵基軟磁薄膜，完成制備后，在適當溫度退火，不加外磁場或在垂直于膜面的外磁場內冷卻，得到垂直各向異性鐵基軟磁薄膜，基片為載玻片或硅片，靶材為鐵基軟磁合金：Fe_TO+rCu_1Nb_sSi_1T-xB_9或Fe_G8+rCu_1Cr_2V_4Si_16-xB_9，x為0～5，有制備工藝簡單、效率高、成本低...

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