2007年 應(yīng)用技術(shù)
基于復(fù)合運(yùn)動(dòng)控制和多機(jī)構(gòu)綜合方法實(shí)現(xiàn)高速高精度運(yùn)動(dòng)的機(jī)構(gòu)。采用串并聯(lián)復(fù)合結(jié)構(gòu)的小慣量、高剛度的焊頭裝置，應(yīng)用S型變加速曲線，在保持良好動(dòng)態(tài)性能的前提下，有效地提高了拾放往返頻率。研究出結(jié)構(gòu)、工藝參數(shù)同系統(tǒng)性能間的非線性關(guān)系，能夠?qū)φ称瑱C(jī)工作過(guò)程作仿真計(jì)算。研究方法和設(shè)計(jì)平臺(tái)對(duì)開發(fā)其他微電子封裝設(shè)備具有很好的指導(dǎo)作用。
成果已應(yīng)用于廣州半導(dǎo)體器件廠。適用于半導(dǎo)體器件生產(chǎn)企業(yè)和半導(dǎo)... 
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