超臨界二氧化碳萃取重金屬離子（微電子器件納微結構的清洗和干燥）

2007年

應用技術

成果簡介

　　一、成果簡介：
　　半導體制造技術很復雜，要求許多特殊工藝步驟、材料、設備以及供應產業。微電子制造技術面臨日新月異的變化，其中90納米技術利銅工藝被稱為引領半導體發展趨勢的第三大浪潮。隨著微電子集成電路微型化和結構復雜程度的提高，光刻保護型薄膜的涂覆、納米微尺寸的顯影、光刻保護劑的剝離、納米微結構的清洗和干燥以及金屬薄膜的沉積等將會成為制造廠藝快速處理的瓶頸。另外，對有毒化學品的排...

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超臨界二氧化碳萃取重金屬離子（微電子器件納微結構的清洗和干燥）

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