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納米級ITO粉體及高密度ITO靶材中試

2007年

應用技術

成果簡介

　　建成年產12噸納米級ITO粉體中試線，生產出5噸納米級ITO粉體，粉體純度≥99.99%、粒度20～80nm、比表面積40～60m^2/g。建成年產6噸ITO靶材中試線，生產出3噸ITO靶材，已制備出相對密度99.581%、尺寸為φ25mm×20mm靶材小樣，中試生產線200mm×380mm大尺寸樣品相對密度能穩定達到＞99.3%。還開發了磁控濺射鍍膜后廢棄靶材回收技術，銦錫氧化物前驅物漿料制...

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納米級ITO粉體及高密度ITO靶材中試

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