掩埋“納米電極對”的納米器件及集成技術

2007年

應用技術

成果簡介

　　研制以納米電極對為基礎的半導體納米器件的制備方法及其集成方法。這種納米電極對結構在納電子學、單分子器件和生物電子器件方面有廣泛的應用。更重要的是，這些器件容易集成，速度快且功耗低。制備出了一系列有知識產權和可實用化的納米器件，如單電子晶體管和氣體傳感器等，并進一步研究了射頻單電子晶體管的特性，包括它的集成與應用，制備出的氣體傳感器具有較好的性能，包括較快的時間響應和較高的靈敏度等，進一步研究提...

相關成果

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7. 碳納米管的組裝技術及電子器件
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10. 構建單個納米顆粒電子器件和光學器件的納米操控方法研究
12. 納米電極式加濕機
13. 納米尺度硅集成電路新結構器件與工藝
14. 利用納米夾具實現微納米器件的機器人化裝配
15. 納米電子墨水及顯示器件的研究
16. 納米器件中若干納米力學基本問題研究
17. 若干納米器件及其基礎
18. 納米冷陰極及其器件研制
19. 低噪音碳纖維納米電極
20. 納米碳管分子器件的量子輸運

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掩埋“納米電極對”的納米器件及集成技術

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