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    液體驅動式超微小位移控制裝置及控制方法

    2007年 應用技術
    • 成果簡介
    申請（專利）號：200510101701.5。
    公開日：2006.06.21。
    專利權人：廣東工業大學。
    申請日：2005.11.25。
    發明（設計）人：傅惠南；王曉紅；區仲榮；陳東升。
    摘要：本發明公開了一種液體驅動式超微小位移控制裝置及控制方法，該裝置由彈性微位移機構與液體驅動控制機構通...
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