IC晶片顯微自動缺陷分析和檢測系統

2007年

應用技術

成果簡介

成果簡介
IC晶片顯微自動缺陷分析和檢測系統，集光、機、電等多專業領域的先進技術于一體，綜合應用計算機視覺技術、數字圖像處理、人工智能、光學缺陷檢測技術、數據庫和先進的算法，可實現無圖形、有圖形硅片的表面缺陷分析和自動快速檢測及關鍵尺寸（CD）的精密標定。
系統采用了上下兩級控制模式，應用光柵掃描控制策略，實現光學顯微鏡數控工作臺的實時運動控制和自適...

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IC晶片顯微自動缺陷分析和檢測系統

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