2007年 應(yīng)用技術(shù)
我所“9711”工程攻關(guān)項目之一，用于IC生產(chǎn)線硅圓片、掩模板、太陽能電池等其它類似材料的高潔凈度沖洗甩干。具有單腔、雙腔兩種結(jié)構(gòu)（（也可按用戶要求配置））。
主要技術(shù)特點： 采用高性能可編程控制器實現(xiàn)邏輯控制。 采用彩色液晶漢顯監(jiān)控，可存儲百種用戶工藝菜單。 結(jié)構(gòu)采用凈化處理技術(shù)。 去離子水電阻率監(jiān)控。 
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