多線圈大面積感應耦合等離子體的耦合特性和均勻性研究

2007年

應用技術

成果簡介

研究重點放在大面積多線圈的ICP等離子體耦合特性以及等離子體均勻性方面。通過對單線圈ICP等離子體的耦合特性研究提出一個基本的等離子體阻抗模型，為確定多線圈ICP等離子體的網絡匹配參數提供依據；研究多線圈的幾何結構、位形配置、線圈之間的互感等對等離子體的電子溫度、密度以及能量分布的影響規律；闡明宏觀參量對產生大面積均勻等離子體行為規律的影響，找到其與基片均勻刻蝕之間的內在聯系，為滿足深亞微...

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多線圈大面積感應耦合等離子體的耦合特性和均勻性研究

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