2007年 應(yīng)用技術(shù)
二維微型加速度傳感器是一維微型加速度傳感器的新發(fā)展，是一種十分重要的慣性測量元件。本課題利用微電子技術(shù)、MEMS技術(shù)、傳感器技術(shù)等，研究二維硅微加速度計的相關(guān)基礎(chǔ)理論及關(guān)鍵共性技術(shù)。以宏觀理論為基礎(chǔ)，研究微小尺度下二維硅微加速度計系統(tǒng)的力學(xué)特性、氣體阻尼特性、交叉耦合等基礎(chǔ)理論，建立相應(yīng)的理論模型和計算機(jī)仿真模型，進(jìn)行系統(tǒng)結(jié)構(gòu)優(yōu)化設(shè)計和工藝優(yōu)化設(shè)計。與此同時，開展實驗研究，進(jìn)行工藝探索和樣...
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