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微機械光子探測技術研究、電磁微機械繼電器的研制

2007年

應用技術

成果簡介

運用半導體物理和微機械與微光學原理，研究了基于光－機械量子效應的光子探測技術：對半導體懸臂梁理論進行了分析，探索了高靈敏度光子探測的實現方法，并將該技術應用于非可見光（紅外或紫外）探測。提出了一種新型雙穩態電磁微機械繼電器的設計，對電磁微機械繼電器的驅動和雙穩態的實現進行了分析，綜合運用現有的微機械加工技術，實現了雙穩態電磁微機械繼電器樣品的制備。...

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14. 實用型電磁型微馬達
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微機械光子探測技術研究、電磁微機械繼電器的研制

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