浮法玻璃硅系納米復合薄膜制備技術及設備

2007年

應用技術

成果簡介

　　該項技術是公司和浙江大學合作研制的技術，它根據浮法玻璃的生產工藝和特點，成功地開發了具有自主知識產權的浮法在線大面積沉積鍍膜技術及設備。該技術以SiH_4 、C_2H_4、 N_2、 H_2等氣體為原料，借助安裝在錫槽內的反應器，通過控制沉積溫度、SiH_4 氣體濃度、混合氣體流量、沉積時間等工藝參數，在浮法玻璃基板上大面積沉積納米硅/碳化硅復合薄膜，經在線質量檢測，生產在線鍍膜玻璃，該技術具...

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浮法玻璃硅系納米復合薄膜制備技術及設備

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