一種程控晶體生長裝置體

2007年

應用技術

成果簡介

　　本專利涉及一種可用計算機程序控制的晶體生長裝置，它包括晶體生長爐和溫度自動監控系統，監控系統包括溫度采集、傳遞裝置、單片機和程控計算機。監控系統可以同時對多數據點同時控制，實現對生長系統中溫度場的整體實時監測，并自動記錄溫度數據，具有數據采集和記錄的可靠性、實時性好以及操作簡便的優點，可以按照要求對整個晶體生長全過程的溫度變化全部實時記錄，以利于對生長結果分析，適用于晶體生長實驗和晶體批量化生...

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一種程控晶體生長裝置體

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