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    多功能多對靶磁控濺射設(shè)備

    2007年 應(yīng)用技術(shù)
    • 成果簡介
    用于仿金裝飾涂層，超硬耐磨涂層，具有大型化，生產(chǎn)效率高，成本低等特點(diǎn)。
    技術(shù)指標(biāo) ：
    鍍膜室尺寸：φ600×700；
    多弧源：2KW；
    極限真空度：2×10^(-3)Pa；
    抽真空時間：≤20分鐘；
    加熱：300℃，4KW。...
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