基于半導體激光——電荷耦合器件的微位移測量系統

2007年

應用技術

成果簡介

　　基于半導體激光－電荷耦合器件的微位移測量系統，涉及一種精密尺寸及微位移的激光非接觸測量系統。本發明由半導體激光器(LD)A1、光學裝置A2、電荷耦合傳感器(CCD)B、LD驅動電路C1、CCD激勵電路C2、信號調理單元D、時間－電壓變換單元E、數字采集處理單元F、數字表G組成；本發明的光學結構或為直射式光學結構，或為反射式光學結構。本發明為非接觸測量，適用于工件加工過程中加工精度的檢測，大型轉...

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基于半導體激光——電荷耦合器件的微位移測量系統

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