MO源產業化現代測試技術及合成、純化的高效生產技術

2007年

應用技術

成果簡介

近十多年來，隨著金屬有機化學氣相沉積（MOCVD）技術產業化的突破，化合物半導體材料的應用越來越多，而發展MOCVD技術的關鍵之一就是必須有高純度的金屬有機化合物（MO源）。江蘇南大光電材料股份有限公司的這項成果研究了MO源產業化生產過程中的質量監控及最終產品的檢測，通過ICP-OES和ICP-MS配合使用檢測近50種元素，檢測的雜質元素種類以及主要雜質元素的檢測靈敏度達到國際先進水平；同...

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MO源產業化現代測試技術及合成、純化的高效生產技術

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