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    單色及雙色大面陣量子阱紅外探測器

    2007年 應用技術
    • 成果簡介
    本課題由半導體研究所和11所合作,通過優化器件結構設計、超薄層材料層結構設計和生長、大面陣芯片工藝設計和器件制備、倒裝互聯、讀出電路設計制作、微制冷技術、測試技術等一系列關鍵技術的突破,在國內首先制備出長波160×128元GaAs/AlGaAs多量子阱紅外焦平面陣列和長波/中波160×128元雙色紅外探測器。前者在77K時,器件的平均峰值探測率Dλ*=1×1010 cm W-1 Hz1/2...

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