新型MO源研制及其工藝研究

2007年

應用技術

成果簡介

本課題研制出四種新型MO源：高純二甲基乙基胺配氫化鋁、高純無氧三甲基鎵、高純溶液三甲基銦和高純溶液二甲基二茂鎂。
二甲基乙基胺配氫化鋁是目前公認的性能優良的新型無氧鋁源，本成果解決了極端無氧無水條件下產品的制備、產品及超純純化技術，純度達到99.9995%，填補了國內空白。
無氧三甲基鎵是高質量的有機鎵源。本成果實現了在無氧試劑條件下，通過直接法，制...

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