基于計算機視覺和顯微干涉的MEMS動態測試系統

2007年

應用技術

成果簡介

通過對MEMS動態測試的理論與技術問題進行研究，在若干關鍵技術方面取得了突破，開發出MEMS運動測試系統。該測試系統由2個測量子系統組成，第一是基于計算機視覺的測量子系統，可實現MEMS平面結構的幾何量參數（長度、角度、形狀誤差等）、平面內周期運動參數（位移、旋轉角度、速度、頻率等）的全視場檢測；第二是基于顯微干涉的測量子系統，可實現 MEMS結構的三維幾何量參數（形貌、表面粗糙度等）、...

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基于計算機視覺和顯微干涉的MEMS動態測試系統

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