功能與技術(shù)指標(biāo):微波等離子體化學(xué)氣相合成納米粒子的技術(shù),具有制備的產(chǎn)物粒子粒度細(xì)、純度高、形態(tài)可控、表面不含氫氧基團(tuán)等特點(diǎn),適合于制備多種金屬,氮化物、氧化物、碳氮化物和復(fù)合金屬-氮化物等納米粒子。該項(xiàng)目在俄羅斯引進(jìn)的微波等離子體化學(xué)氣相合成納米粒子的裝置上,開發(fā)了快速冷凝控制粒子生長和凝并技術(shù),制取了包括Mo、TiN,TiO_2和ZrO_2在內(nèi)的多種粒徑小于100nm的金屬、氮化物和氧化...
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