2007年 應(yīng)用技術(shù)
中期階段 課題來源與背景：本項目為企業(yè)自立項目。企業(yè)在引進國外先進技術(shù)的同時，研制國內(nèi)先進的非晶硅薄膜太陽電池沉積系統(tǒng)，使之可以在消化引進技術(shù)的同時發(fā)展我國非晶硅薄膜太陽電池產(chǎn)業(yè)化技術(shù)。
技術(shù)原理及技術(shù)指標(biāo)：該項目研發(fā)的沉積系統(tǒng)其功能是采用PECVD工藝在大面積玻璃基底上沉積非晶硅薄膜。其本質(zhì)上是建立一個抽高真空系統(tǒng)，并在這個系統(tǒng)中裝入玻璃襯底，再把各種特殊氣體通入其中，并在高頻... 
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