ECR深亞微米刻蝕技術

2003年

應用技術

中期階段

成果簡介

本項目研究基于電子回旋共振高密度等離子體刻蝕技術，設計并成功地建立了ECR深亞微米刻蝕系統，在此基礎上進行了深亞微米圖形刻蝕技術及工藝研究。其主要成果包括：
1、采用微波通過同軸開口電介質空腔產生表面波，利用新型高磁能積Nd-Fe-B稀土永磁磁鋼合理布局形成的高強磁場，通過共振磁場區域內電子回旋共振效應，產生大面積、均勻、高密度等離子體。
2、研制建...

相關成果

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ECR深亞微米刻蝕技術

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