半導體氣敏材料的納米技術研究

2005年

應用技術

成果簡介

氣體敏感材料的納米化是提高半導體氣體傳感器靈敏度的主要手段之一。但是，納米材料又屬熱力學不穩定體系，顆粒尺寸在一定溫度下容易進一步長大，使氣敏材料的性能變得不太穩定。而且不同晶粒尺寸的氣敏材料氣體靈敏度也不盡相同。研究具有高靈敏度和高穩定性的納米氣敏材料對氣體傳感器的應用將具有積極的推進作用。該項目的研究成果具有如下特點：(1)在納米氣敏材料制備方法中引入微乳液法，水熱水解法，室溫固相反應法和相轉...

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半導體氣敏材料的納米技術研究

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