大直徑硅中COPs和紅外散射缺陷的研究

2003年

應用技術

成熟應用階段

成果簡介

該課題揭示了FPD微缺陷的結構特點，為四面體微空洞結構。并證實了微缺陷與晶體生長條件的切關系，拉速愈快，微缺陷的密度增加而尺寸變小。含氧量愈高，微缺陷的密度愈高。使用矮加熱器為主的復合加熱系統和合理的氬氣流分布能有效抑制原生缺陷的形成。通過設置合理的熱場和氬氣流導流裝置，并結合熱處理工藝，有效地控制微缺陷的形成，大大改善表面質量。達到國際先進水平...

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大直徑硅中COPs和紅外散射缺陷的研究

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