硅鍺合金單晶的制備

2003年

應用技術

成熟應用階段

成果簡介

該項目采用CZ法和PMCZ法研制出了Ф≥50mm的硅鍺單晶。其利用FTIR、SEM、SIMS、化學光譜、X-RAY、EDX等分析手段對硅中鍺的含量、分布形式、有效分凝系數、氧濃度和氧沉淀的行為、電阻率熱穩定性、鍺濃度對晶體完整性的影響、拉晶工藝條件的熱場的設計等進行了系統的分析、測試和研究，確定了采用CZ法和PMCZ法制備硅鍺單晶的工藝，并首次發現了硅鍺單晶中與鍺含量有關的新的紅外吸收峰（...

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硅鍺合金單晶的制備

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