新型多弧離子鍍膜機的研制

2005年

應用技術

成果簡介

新型多弧離子鍍膜機廣泛用于材料表面處理的關鍵設備。為了滿足國內市場的巨大需求，受南京寶色鈦業有限公司委托開設了本項目的研究，主要目的是研制一種新型的多功能鍍膜設備，為在大面積材料表面沉積裝飾膜及功能膜提供有效的手段。它以大尺寸矩形弧源和可旋轉柱狀弧源為結構特征，采用新型的組合方式，實現了低成本化。主要技術和經濟指標：設計一臺具有矩形大靶蒸發源和柱狀蒸發源，能在不銹鋼上大面積鍍制TiN裝飾膜的多弧離...

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新型多弧離子鍍膜機的研制

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