1-1.5微米器件測試技術(shù)

2005年

應(yīng)用技術(shù)

成果簡介

1.成果內(nèi)容簡介：1-1.5微米器件測試技術(shù)研究是國家“八五”重點(diǎn)科技攻關(guān)項(xiàng)目，攻關(guān)完成了以下的研究工作：(1)建立和完善了1-1.5微米器件測試平臺和測試研究環(huán)境，包括：DIC-8032系統(tǒng)；SCHLμmBERGERS15系統(tǒng)；TERADYNEA370系統(tǒng)。(2)256k SRAM測試技術(shù)，包括：256k SRAM的測試方法及失效分析。(3)1兆位MASKROM測試技術(shù)。(4)ASIC電路測試程...

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1-1.5微米器件測試技術(shù)

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