VLSI/ULSI器件薄膜材料和工藝技術

2005年

應用技術

成果簡介

一、成果內容簡介、關鍵技術、技術經濟指標：1、成果內容簡介：“自對準金屬硅化物薄膜材料和器件工藝技術”是可用于發展性能超大規模集成電路及其它半導體器件制造技術的研究成果。它包括：1、自對準硅化鈷器件工藝技術；2、自對準硅化鈦器件工藝技術；3、新型CoSi/Si異質固相外延技術；4、外延自對準硅化鈷器件技術；5、Co、Ti/SiGe/Si固相反應硅化物--鍺化物薄膜；該專題研究成功的CoSi_2和T...

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