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    絕緣柵雙極晶體管(IGBT)研究與中試

    2004年 應用技術
    • 成果簡介
    絕緣柵雙極晶體管(IGBT)是新型MOS功率器件,目前在國內的研究只有該項目和北工大進行。在國內的生產更是空白。國內的器件應用全靠進口。項目承擔人袁壽財是國內最早從事IGBT研究的人員和專家之一,所有技術是自己研制和開發,屬自有技術。包括平面工藝和目前最先進的Trench(槽)工藝,采用VLSI側墻自對準和硅化物自對準技術,使工藝極大地簡化。國內外同類產品以及與同行企業的比較:在國內領先。市場規模...
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