潔凈環境監測系統

2004年

應用技術

成果簡介

項目研究的背景及用途：生產環境中空氣、工藝用純氣和液體的潔凈度及其他空氣參數(溫/濕度，風速，壓差)對半導體，制藥，電子等行業有著至關重要的作用。采用便攜式或車載式的空氣粒子計數器對潔凈廠房的潔凈度進行定期的人工巡檢存在一些缺點，為了克服人工檢測的缺點，該項目研制了環境實時監測系統對潔凈廠房進行監測。技術原理及工藝流程：環境監測系統有多空氣計數器集中監測系統、多管式順序采樣監測系統和多環境參數混合...

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