低成本壓電多層微位移器

2003年

應用技術

成果簡介

該發明專利是一種新的低成本壓電多層微位移器及制作方法。該多層微位移器是由多層壓電陶瓷膜片、內電極和膜片一體化及外電極組成。制作方法為：將在1100～1150℃燒結的鈮鋅鋯鈦酸鉛(PZN-PZ-PT)陶瓷粉體，通過流延成型法得到厚度為30～100μm的膜片，經沖片、印刷Ag/Pd(70/30)電極、疊片、膜片和內電極一體化、器件的切割、排塑、燒結、上外電極、器件的加工、塑封、極化等工藝得到具有獨石結...

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低成本壓電多層微位移器

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